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【特長】
●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。
●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。
【用途】
●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置。
●真空蒸着装置、凍結乾燥器。
●医療用機器全般。
【仕様】
●排気速度(L/min)50/60Hz:100/120
●到達圧力(Pa):9.3
●吸気口径(mm):27
●電源(V):単相100
●全幅(mm):234
●全長(mm):500.5
●全高(mm):264
●使用油:SMR-100
●電源コード長さ(m):1.8
●一台から異電圧に別作対応
【注意】
●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
●大気圧近くでの連続運転には不適当です。
【入数】
●1台
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