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・ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。・接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。・シンプル構造でメンテナンスも容易です。用途・吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。・分析機器、理化学機器。・半導体検査装置。・デバイス組立。・自動機、包装機。仕様・排気速度(L/min)50/60Hz:40/46・到達圧力(Pa):3.3×10[[の3乗]]・吸気口径(mm):12・電源(V):単相100・寸法(mm)当社管理番号398-1509
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・ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
・接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
・シンプル構造でメンテナンスも容易です。用途
・吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
・分析機器、理化学機器。
・半導体検査装置。
・デバイス組立。
・自動機、包装機。仕様
・排気速度(L/min)50/60Hz:40/46
・到達圧力(Pa):3.3×10[[の3乗]]
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